CNC视象坐标测量仪基础

前言

过去，对于那些肉眼不易识别的小尺寸测量，或是不适于进行接触式测量的需求，一般都是使用轮廓投影仪、测量显微镜等几何量光学量仪对被测件进行光学放大与测量的。被测物从过去的钟表零件，到现今的高密度电子零部件、微电子机械系统都有。使用这类量仪进行的测量，都是手动测量，都存在人为瞄准误差。如今排除人为误差的要求越来越多，在品质管理方面也要求能够对计量仪器的重复精度进行定量分析。CNC视象坐标测量仪就是在这种背景下，为满足市场需求而开发出来的产品。

尼康NEXIV系列CNC视象坐标测量仪自1995年开始销售以来，应客户的要求不断加以改进，持续获得大家的好评。现行的NEXIV VMR系列产品（图1），其软件功能十分先进，具有很强的计量检测能力。2003年又增加了大量程机种和高精度机种，以及带有高倍头的Z120X系列机种。在此，我们将以尼康NEXIV VMR系列产品为例，向您介绍CNC视象坐标测量仪的主要特点。