Sensofar 三维表面轮廓仪 S Lynx

S Lynx可以实现白光共聚焦、白光干涉和Ai多焦面叠加三种功能的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪，相较与S Neox具有超高性价比，对于无须电动平台进行大范围拼接和批量检测的用户具有超过的性价比

客户即拥有共聚焦技术的超高XY轴分辨率最高0.14um,又有干涉技术的亚纳米级Z轴分辨率可达0.1nm及高达0.1%的测量重复性。

技术指标

一、硬件部分

1.1 光源及寿命

长寿命高亮度白色LED （550nm) 40000小时以上

1.2 真彩色成像

图像色彩及还原性更好

1.3 XY分辨率

0.17um

1.4 显微镜共焦装置

专利MicroDisplay设计，测量头内无运动部件

1.5 物镜转换器及物镜

1.5.1 电动五孔物镜转换器

1.5.2 物镜参数

1.6 视野范围

117-3508um

1.7 样品侧面观察能力

最大86度

1.8 载物台行程及最大样品高度

可倾斜±3度，手动载物台行程于150X100mm，尺寸为240X155mm最大高度支持150mm

可满足φ0.2-20长度5-10mm的工件粗糙度形貌测量。

1.9 内置专业避震装置

有

1.10 适用材料

表面反射率0.5~100%

适用材料：金属、塑料、陶瓷、玻璃等多种材料。

1.11 放大倍数

100-20000

1.12 观察方式

白光干涉，白光共聚焦和多焦面叠加，三种扫描均为非接触式。

1.13扫描速度

Z扫描速度为2-5微米/秒。扫描50微米高度形貌约30秒。

二、软件部分

2.1粗糙度测量部分

2.1.1 同时具备线粗糙度和面粗糙度测量的能力

2.1.2 粗糙度标准

ISO25178 国际标准

2.2 观察辅助

明场，暗场，白光共聚焦、共聚焦狭缝

2.3 拼图功能

有，拼接范围为电动平台移动行程

2.4 具备免费离线软件与共享功能

2.5 自动操作记忆功能

可存储测量参数，可自动测量表面粗糙度。如选配批量分析软件，可自动分析结果给出报告

2.6 操作系统

WINDOWS10 64bit

2.7 操作软件支持的语言

中文、英文

2.8 窗口设计

按键式，可保存及调用参数

2.9 支持的扫描模式

白光干涉、相位差干涉、共聚焦

三、测量性能与追溯性

3.1 XY分辨力

最大分辨能力不低于0.17微米

3.2 测量显示分辨率

0.01nm

3.3 Z轴测量分辨率

共聚焦最大1nm VSI模式下1nm

3.4 载物台Z轴线性度、行程及分辨率

线性度为<0.5μm/mm,行程为40mm，分辨率为2 nm

3.5 Z轴测量重复性

台阶高度重复精度小于0.1%

新卓仪器

Sensofar 三维表面轮廓仪 S Lynx