认识Sensofar

西班牙SENSOFAR公司专业从事研发、设计和制造光学表面量测设备。从1999年成立至今全球装机超过900台。SENSOFAR开创性地将共聚焦和干涉技术结合在一起，设计和制造了NEOX系列的3D光学轮廓仪，它是获得欧洲设计金奖的产品。

其中最新款的SNEOX具有以下几点突出优势：

一、独一无二的设计，将共聚焦和干涉技术完美结合

SNEOX无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和Ai多焦面叠加三种功能的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。客户即拥有共聚焦技术的超高XY轴分辨率最高0.14um,又有干涉技术的亚纳米级Z轴分辨率可达0.1nm及高达0.1%的测量重复性。

二、采用四色LED做照明光源，系统无耗材

SNEOX采用红、绿、蓝、白四色LED做照明光源。超长使用寿命和稳定波段的LED保证了设备的稳定运行，也降低了用户的使用成本。

传统共聚焦激光光源只有3000小时寿命，更换光源需要返厂校准。

三、专利的Microdisplay 技术做到了扫描头内无运动部件

SENSOFAR专利设计的Microdisplay技术解决了共聚焦扫描一直以来的问题即有部件要高速运动。实现了既能高速扫描又能避免部件运动造成震动影响精度。

传统共聚焦扫描头有一组晶振在振动，需要定期校准。

四、采用3CCD模式，拍摄真实清晰地图片

SNEOX使用2442x2048的CCD，使用3CCD模式拍摄彩色图片即每张彩色图片都是用红、绿、蓝三色光源分别照明后获取图像，保证每个像素点都能用RGB三原色去还原图像，红绿蓝三色LED交替照明的方式能帮助获得最真实和高对比度的图像。较短的光波长可以在测量时获得最好的水平分辨率，较长的光有更好的光学相干性，适合干涉扫描的使用。

五、智能编程，自动走位测量

软件的标配智能编程功能，用户可以很简单的实现定位精确测量或大批重复测量。软件还可设置使用权限。

六、新增AI FOCUS VIRATION功能实现超快速三维重建

针对部分用户需要高速测量，且测量精度只需要亚微米级的需求，SNEOX最新加入了FOCUS VIRATION功能，Z轴测量精度小于70nm，只需不到3秒就能完成视场内的三维形貌扫描。

七、自动形貌拼接、图像预览导航等丰富功能帮助客户一台设备完成多种应用需求。

八、膜厚测量，薄膜测量满足50nm-1.5u测量需求，厚膜测量满足1.5-5mm测量需求（单层膜）。多层膜测量需选配光谱反射计。

九、定制软件

SensoPro作为一款定制软件，针对工厂设计，既可以避免人为测量误差，又可以批量高速测量。

使用SensoPro软件可以在预先设置好要测量和输出的数据的前提下，可以在扫描好样品表面形貌的同时，测量出全部待测样品的数据。不但可以排除人为测量误差，还具备人为测量不具备的高效率。

二、设备主要用途

Sensofar 表面轮廓仪S Neox可以通过白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面叠加四种技术对表面进行3D合成，适用于几乎所有粗糙度表面样品的三维量测。

广泛应用于能源、LCD、微电子、精密加工、光学器件、半导体元件、钟表、考古、汽车、电子消费品等领域。

三、技术指标

设备名称：表面3D轮廓仪

规格型号:S Neox

一、硬件部分

1.1 光源及寿命

长寿命高亮度4色LED（红 630nm，绿 560nm,蓝 460nm，白550nm) 50000小时以上

1.2 相机及成像

5Mpx：2442x2048 60fps高速相机；用红绿蓝三色顺序照明获得真彩照片，图像色彩及还原性更好

1.3 XY分辨率

0.14µm

1.4 显微镜共焦装置

专利MicroDisplay设计，测量头内无运动部件

1.5 扫描模式

干涉物镜：白光干涉（CSI）、相位差干涉（PSI）扩展相位差干涉（ePSI）、膜厚测量模式

共聚焦物镜：共聚焦、连续共聚焦、共聚焦融合、AI多焦面叠加、膜厚测量模式

膜厚测量模式：可以测量大于50nm透明膜厚度

1.6 物镜转换器及物镜

1.6.1 电动六孔物镜转换器

1.6.2 物镜参数

镜头种类	倍率	数值孔径（N.A）	视窗大小（µm）	工作距离（mm）	横向分辨率（µm）	Z向分辨率（nm）	最大支持斜率
干涉物镜	2.5X	0.075	6750x5640	10.3	1.87	0.01	4
	5X	0.13	3380x2820	9.3	1.08	0.01	8
	10X	0.30	1690x1410	7.4	0.46	0.01	17
共聚焦物镜	20X	0.45	840x700	4.5	0.31	8	21
	50X	0.8	340x280	1.0	0.17	3	53

1.7 视野范围

110-3380µm

1.8 样品侧面观察能力

最大86度

1.9 电动载物台

可倾斜，行程不小于114X75mm，

1.10 内置专业避震装置

有

1.11 最大支持样品高度

最大40mm（可扩展）

1.12 放大倍数

100-20000

1.13 Z轴精度及线性度

可选压电陶瓷高精度Z轴扫描模块，行程200µm

1.14防震机制

大台面高级防震桌

二、软件部分

2.1粗糙度测量部分

2.1.1 同时具备线粗糙度和面粗糙度测量的能力

2.1.2 粗糙度标准

ISO25178 国际标准

2.2 观察辅助

明场，暗场，彩色共聚焦、共聚焦狭缝

2.3 拼图功能

有，拼接范围为电动平台移动行程

2.4 具备免费离线软件与共享功能

2.5 自动操作记忆功能

可存储测量参数，自动编程实现多点测量。如选配批量分析软件，可自动分析结果给出报告

2.6 工作站

新型工作站配置WINDOWS10 64位专业版操作系统，27” 3840 x 2160分辨显示器

2.7 操作软件支持的语言

中文、英文

2.8 窗口设计

按键式，可保存及调用参数

2.9 支持的扫描模式

白光干涉、相位差干涉、共聚焦、主动照明式多焦面叠加、膜厚模式等

三、测量性能与追溯性

3.1 XY分辨力

最大分辨能力不低于0.14微米

3.2 测量显示分辨率

0.001nm

3.3 Z轴测量分辨率

共聚焦最大1nm CSI模式下1nm PSI 模式下最高可达0.01nm

3.4 Z轴测量准确度

台阶高度精度0.5%

3.5 Z轴测量重复性

台阶高度重复性0.1%

新卓仪器

Sensofar表面3D轮廓仪S Neox