认识Sensofar

西班牙SENSOFAR公司专业从事研发、设计和制造光学表面量测设备。从1999年成立至今全球装机超过900台。SENSOFAR开创性地将共聚焦和干涉技术结合在一起，设计和制造了NEOX系列的3D光学轮廓仪，它是获得欧洲设计金奖的产品。

其中最S ONIX具有以下一些特点：

一、 S onix是一套高速工业检测系统，可以完成大批量产品的快速检测。高速摄像头、独特的光学和机械设计让它比现有干涉系统的测量速度提高了7倍。另外增加改进后的防震阻力设计让设备在垂直分辨率方面有着更优异。

二、 S Onix拥有小巧的体积（150mm * 82mm * 281mm），轻巧的质量（3.6kg），却拥有2nm的高纵向分辨率，225μm/s的超高纵向扫描速度，仅仅需要普通相机拍摄一张照片的时间就可以将表面三维形貌抓取出来，并进行粗糙度和高度的量测，同时配备绿光和白光双LED，两种算法可分别实现速度优先和分辨率优先，根据样品需求，提供最佳测量方案。

三、智能编程，自动走位测量

高速扫描头配置有150mm*150mm或300mm*300mm电动扫描平台时，软件配置的智能编程功能，用户可以很简单的实现定位精确测量或大批重复测量。软件还可设置使用权限。

四、自动形貌拼接、图像预览导航等丰富功能帮助客户一台设备完成多种应用需求。

五、定制软件

SensoPro作为一款定制软件，针对工厂设计，既可以避免人为测量误差，又可以批量高速测量。

使用SensoPro软件可以在预先设置好要测量和输出的数据的前提下，可以在扫描好样品表面形貌的同时，测量出全部待测样品的数据。不但可以排除人为测量误差，还具备人为测量不具备的高效率。

二、设备主要用途

Sensofar 表面轮廓仪S Onix可以通过白光干涉技术对表面进行3D合成，除表面极粗糙和极光滑的表面适用于大部分粗糙度表面样品的三维量测。

广泛应用于能源、LCD、微电子、精密加工、光学器件、半导体元件、钟表、汽车、电子消费品等领域。

三、技术指标

设备名称：表面3D轮廓仪

规格型号:S Onix

一、硬件部分

1.1 光源及寿命

长寿命高亮度2色LED（绿 560nm，白550nm) 50000小时以上

1.2 相机及成像

680*480pixel高速相机

1.3 XY分辨率

0.25µm（100倍干涉物镜）

1.4 扫描模式

干涉物镜：白光干涉（CSI）

膜厚测量模式：可以测量大于1.5μm透明膜厚度

1.5 物镜转换器及物镜

1.5.1 单物镜或选配六孔物镜转换器

1.5.2 物镜参数

镜头种类	倍率	数值孔径（N.A）	视窗大小（µm）	工作距离（mm）	横向分辨率（µm）	Z向分辨率（nm）	最大支持斜率
干涉物镜	2.5X	0.075	5040x3780	10.3	7.88	2	3
	5X	0.13	2520x1890	9.3	3.94	2	8
	10X	0.30	1160x945	7.4	1.97	2	14

1.6 视野范围

126-5040µm（根据物镜）

1.7 样品侧面观察能力

最大42度

1.8 电动载物台

可倾斜，行程不小于150 mm **150mm，或者300 mm *300 mm

1.9内置专业避震装置

有

1.10 最大支持样品高度

最大40mm（可根据样品更换80mm）

1.11 放大倍数

100-20000

1.12 Z轴精度及线性度

高精度Z轴扫描模块，行程40mm

1.13防震机制

大台面高级防震桌

二、软件部分

2.1粗糙度测量部分

2.1.1 同时具备线粗糙度和面粗糙度测量的能力

2.1.2 粗糙度标准

ISO25178 国际标准

2.2 观察辅助

干涉图像

2.3 拼图功能

有，拼接范围为电动平台移动行程

2.4 具备免费离线软件与共享功能

2.5 自动操作记忆功能

可存储测量参数，自动编程实现多点测量。如选配批量分析软件，可自动分析结果给出报告

2.6 工作站

新型工作站配置WINDOWS10 64位专业版操作系统，2560 x 1440分辨显示器

2.7 操作软件支持的语言

中文、英文

2.8 窗口设计

按键式，可保存及调用参数

2.9 支持的扫描模式

白光干涉、膜厚模式等

三、测量性能与追溯性

3.1 XY分辨力

最大分辨能力不低于0.24微米

3.2 测量显示分辨率

0.01nm

3.3 Z轴测量分辨率

CSI模式下2nm

3.4 Z轴测量准确度

台阶高度精度0.5%

3.5 Z轴测量重复性

台阶高度重复性0.1%

新卓仪器

Sensofar表面3D轮廓仪S Onix