CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S3020」发售

适合车载电子、半导体零部件的NEXIV新系列

「NEXIV VMZ-S3020」

尼康株式会社（社长：馬立稔和、东京都港区）之子公司，Nikon Solution株式会社（社长：園田晴久、东京都品川区），针对电子、半导体等精密零部件开发了CNC影像测量系统全新「NEXIVVMZ-S」系列，第一弹发售「NEXIV VMZ-S3020」。

CNC影像测量系统「NEXIV」是运用尼康独特的光学技术和图像处理技术，可自动测量电子、半导体零部件的装置。通过图像分析与高速准确的边缘检测，对于复杂特殊形状的被检物品也能够快速地进行测量。此次发售的「NEXIV VMZ-S」系列产品不仅保持了以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品的精度，还实现了更高的产能。

「NEXIV VMZ-S3020」将出展「JIMTOF2020 Online」（2020年11月16日～12月11日）在线展会。

另外，大尺寸载物台机型「NEXIV VMZ-S4540」以及「NEXIV VMZ-S6555」也在开发中，预计于2021年下半年依次发售。

发售概要

产品名	CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S3020」
订单接受时间*	2020年11月12日

*开始发货时间为2021年1月。

开发的由来

近年来，汽车行业在自动驾驶与电动汽车市场扩大的背景下，电气化极速发展，用于汽车的电子、半导体零部件不断增加。由于关乎生命安全，所以采用的零件也需要非常严格的品质管控，对测量设备的要求也随之提高。所以，尼康研发并推出了适合于车载电子、半导体零部件等测量用途的CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S」系列。

主要特长

1. 高产能

「NEXIV VMZ-S3020」在高精度线性光栅尺和精密载物台提供高精度测量的同时，通过载物台移动和图像处理的高速化，与以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品相比实现了更高的产能。保证了客户公认的精度和再现性，缩短了测量时间。

2. 高品质图像，高精度测量

通过无失真的高品质图像，即使不在视场中心附近也能得到可靠的测量结果。另外，根据被检测物品的形状通过同轴表面光、底部透射光、8个扇面环形光的选择与光量・照射方向的调整，可以敏锐的扑捉到难以检测的边缘。而且，通过1000点/秒的高速激光扫描，可以取得样品的截面形状，也可以对应高度方向的形状评价。满足各种各样零部件的测量需求。

3. 卓越的实用性

通过系列产品通用的尺寸测量软件「NEXIV AutoMeasure」，可以畅快有效地进行尺寸测量。另外，以简单形状为对象，增加了将测量程序制作工序的一部分自动化的功能。

而且，为了满足使用NEXIV系列顾客的要求，用于操控载物台和测量头移动的操纵杆单元，运用了更易操作的设计。

主要规格

量程（X × Y × Z）	300 × 200 × 200 mm （TZ型使用低倍物镜时：250 × 200 × 200 mm）
最小读数	0.01 μm
最大承载重量	20 kg（保证精度的载重：5 kg）
测量精度（L是测量的长度（㎜））	E_UX,_MPE, E_UY,_MPE（X轴、Y轴精度）： 1.2 + 4L/1000 μm E_UXY,_MPE（XY轴精度）：2.0 + 4L/1000 μm E_UZ,_MPE（Z轴精度）：1.2 + 5L/1000 μm
相机	黑白/彩色1/3英寸CMOS
变焦镜头型号* （倍率・视场）	・1型：（0.5～7.5x ・ 9.33 x 7 ～ 0.622 x 0.467 mm）・2型：（1～15x ・ 4.67 x 3.5 ～ 0.311 x 0.233 mm）・3型：（2～30x ・ 2.33 x 1.75 ～ 0.155 x 0.117 mm）・4型：（4～60x ・ 1.17 x 0.88 ～ 0.078 x 0.058 mm）・TZ型：（1～120x ・ 4.67 x 3.5 ～ 0.039 x 0.029 mm）・A型：（0.35～3.5x・ 13.3 x 10 ～ 1.33 x 1 mm）
自动对焦	激光自动对焦（A型是选配）、图像自动对焦
灯光*	・1～4型: 同轴表面光、底部透射光、8个扇面的环形光（全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3种角度、4型1种角度）・TZ型: 同轴表面光、底部光（VMZ-S3020的低倍除外）、暗场照明・A型: 同轴表面光、底部光、8个扇面的环形光（全部采用白色LED光源/1种角度）
电源规格 / 额定电流	AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A
尺寸（W × D × H） / 重量	本体+底座: 700 × 730 × 1793 mm / 约265 kg 控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 约12 kg
占地大小（W × D）	2700 × 2400 mm

*根据应用的不同，有6种镜头型号可供选择。不同型号镜头所配备的灯光照明系统也会有所不同。

新卓仪器

视频测量系统VMZ-S3020